TEM的工作模式有哪些_透射电镜测试
一、TEM的工作模式有哪些?
TEM工作模式有三个:放大成像模式、电子衍射模式、扫描透射模式(STEM)。为了方便理解前两个模式,我们现将TEM结构简化成由一个放大镜和变焦照相机组成。成像模式:照相机对放大镜的像平面对焦,得的是样品的形貌像。样品的形貌像是样品在正空间下的影像。在正空间下,单位采用长度单位:如nm、μm。
电子衍射模式:照相机对放大镜的焦平面对焦,得到的是样品的衍射花样。样品的衍射花样是样品在倒空间的影像。在倒空间下,单位采用长度单位的倒数:如1/nm、5/nm。
扫描透射模式(STEM):STEM模式是采用细聚焦的高能电子束对样品进行逐点扫描,然后利用环形探测器(含中心孔)收集到的高角度卢瑟福散射粒子成像(HAADF像)。
二、TEM明场像、暗场像、中心暗场像有什么差别?
明场像:只允许透射束通过物镜光阑成像
暗场像和中心暗场像:只允许某支衍射束通过物镜光栏成像,但中心暗场像的衍射束是沿透射光轴进轴成像,一般来说,成像品质较高。
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