Tescan Lyra3

聚焦离子束扫描电镜

参数：

二次电子分辨率：1.0nm(加速压30kV)；2.0nm(着陆压1kV)
电子枪最大束流：≥200nA

放大倍率：1～1000k×

热场发射电子枪加速电压：0.2～30kV

离子枪分辨率：2.5nm(加速压30kV，工作距离9mm)
离子枪束流：1pA～50nA
离子枪加速电压：500V～30kV

能谱探测器：硅漂移(SDD)电制冷探测器，有效面积50mm²

配备Ga镓离子源、Pt气体注入系统、TEM样品取出纳米机械手

FEI Titan G2

球差矫正电镜

参数：

加速电压：300kV

TEＭ点分辨率：0.08nm  

信息分辨率：0.08nm

STEM分辨率：0.136nm

电子枪能量分辨率：≤0.7eV(300kV)

样品台：最大样品倾角±40°

FEI Talos F200X

高分辨扫描透射电镜

参数：

电子枪：热场发射

加速电压：200kV

样品台倾转角：±35°(α)   ±30°(β)

样品台辅助：压电漂移纠正

TEM线分辨率：0.10nm

STEM分辨率：0.16nm

STEM探头：BF+DF2/4+HAADF

放大倍数：25x～1500k×(TEM)   

　　　　　150x～2300k×(STEM)

EDS系统：SuperX 无窗对称4SDD

EDS分辨率：≤136eV(Mn-Kα 10kcps)

参数：

离子源：氩离子

最大研磨角：±10°

离子束能量：0.1～8.0KeV

真空度：5×10^-6Torr

Gatan 695

离子减薄仪

Hitachi HT7800

低压透射电镜

参数：

加速电压：20～120kV(100V/step 连续可调)

线分辨率：0.204nm(100kV，off-axis)
放大倍率：(低倍模式)  50×～1k×
 　　　　　(HC模式)　200×～200k×
　　　　　(HR模式)　4k×～600k×

最大倾角：±70°